WI-6500自动晶圆缺陷检测系统由多方位视觉检测系统、高性能隔振系统以及晶圆自动上下料系统组建而成。该系统采用先进的机器学习算法,实现对污点、划痕、凹凸、断裂、异色、尺寸误差等缺陷的高精度检测与预警,最小可检测缺陷达到0.5μm,支持 6 sigma Si和4 sigma Sip的工艺流程。
该系统适用于Silicon / SiC / GaAs / GaN / InP等,有图形与无图形缺陷检测,可检测污点、划痕、凸凹、断裂、异色、尺寸误差等多种缺陷类型。
备案号:鄂ICP备17020092号-1版权所有© 2009-2024 武汉驿天诺科技有限公司 | 保留所有权利