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WIT-220 硅光晶圆测试探针台

WIT-220晶圆光电测试探针系统综合考虑稳定性、电噪声处理、空间布局等设计要求,采用精密运动控制系统,高性能隔振系统,结合自主研发图像软件算法,实现高稳定性小模斑芯片光性能和高精度电性能测试,能够满足高精度光测试指标以及pA/nA微信号测量应用要求,可提前在晶圆级别筛选不良芯片,防止流入后端工艺,节约整体封测成本,提高研发以及生产效率。

产品特点

  • 支持硅光、薄膜铌酸锂、III-V等领域
  • pA级超低漏电以及fF级超低电容测量
  • 插损测试重复性优于0.3dB
  • 高效的视觉算法,支持自动扎针、自动耦光、自动清针
  • -40℃ ~ 150℃全场景测试,超低温不凝露
  • 支持DC、RF以及不同模斑的GC/EC光耦合
  • 支持FA、WLR以及其他研发验证
  • 支持单芯片测试
  • 晶圆尺寸最大支持12英寸,向下兼容至2英寸

产品应用

该设备主要面向硅光OO、OE等前沿技术测试领域,光测试兼容SMF、Lens Fiber、FA等;电测试兼容探针座或探针卡,满足研发及量产多种应用场景测试需求。

产品规格


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