WAT-226 高功率晶圆测试系统

WAT-226高功率晶圆测试系统采用密闭腔体形式，将运动构件、制热构件、制冷构件以及测试使用的晶圆卡盘、探针台、探针臂等部件集中在密闭腔体中，构建安全、稳定的功率器件晶圆级测试环境，满足高温、低温、高压、高流等极端条件的安全测试要求，保护器件不被氧化、结露、结霜、电弧击穿等物理破坏及污染。